文献
J-GLOBAL ID:200902098608082990
整理番号:86A0301215
スパッタ負イオン源MISS-585
The negative ion sputter source MISS-585.
著者 (2件):
MATTHES H
(Central Inst. Nuclear Research Academy of Science of the GDR)
,
PFESTORF W
(Central Inst. Nuclear Research Academy of Science of the GDR)
資料名:
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section A. Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment
(Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section A. Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment)
巻:
244
号:
1/2
ページ:
155-157
発行年:
1986年02月15日
JST資料番号:
D0208B
ISSN:
0168-9002
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)