文献
J-GLOBAL ID:200902098920728075
整理番号:88A0011714
不働態化酸化物-InP界面の化学
On the chemistry of passivated oxide-InP interfaces.
著者 (7件):
HOLLINGER G
(Inst. Physique Nucl<span style=text-decoration:overline>e ́</span>aire de Lyon, Villeurbanne, FRA)
,
JOSEPH J
(Ecole Centrale de Lyon, Ecully, FRA)
,
ROBACH Y
(Ecole Centrale de Lyon, Ecully, FRA)
,
BERGIGNAT E
(Ecole Centrale de Lyon, Ecully, FRA)
,
COMM<span style=text-decoration:overline>E`</span>RE B
(Ecole Centrale de Lyon, Ecully, FRA)
,
VIKTOROVITCH P
(Ecole Centrale de Lyon, Ecully, FRA)
,
FROMENT M
(Univ. Pierre & Marie Curie, Paris, FRA)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻:
5
号:
4
ページ:
1108-1112
発行年:
1987年07月
JST資料番号:
E0974A
ISSN:
1071-1023
CODEN:
JVTBD9
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)