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文献
J-GLOBAL ID：200902100108334009
整理番号：01A0743520
MOSコンデンサを利用したHfとZrゲート電極とSiO2およびZrO2との相互作用の検出
Use of metal-oxide-semiconductor capacitors to detect interactions of Hf and Zr gate electrodes with SiO2 and ZrO2.
MISRA V
(North Carolina State Univ., North Carolina)
,
HEUSS G P
(North Carolina State Univ., North Carolina)
,
ZHONG H
(North Carolina State Univ., North Carolina)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 78 号： 26 ページ： 4166-4168 発行年： 2001年06月25日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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