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文献
J-GLOBAL ID：200902100231164835
整理番号：95A0449895
電気化学効果を利用するサブミクロン製造技術と一方向SAWトランスデューサへの応用
Submicron fabrication techniques using electro-chemical effects and application to unidirectional SAW transducers.
ODAGAWA H
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
TANAKA N
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
MEGURO T
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
YAMANOUCHI K
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名：
Proceedings. IEEE Ultrasonics Symposium
(Proceedings. IEEE Ultrasonics Symposium)
巻： 1994 号： Vol 1 ページ： 437-440 発行年： 1994年
JST資料番号： A0437C ISSN： 1051-0117 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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