文献
J-GLOBAL ID:200902100251879865
整理番号:94A0113592
Compositional and structural analysis of strained Si/SiGe multilayers and interfaces by high resolution transmission electron microscopy.
著者 (2件):
STENKAMP D
(Forschungszentrum KFA Juelich, Juelich, DEU)
,
JAEGER W
(Forschungszentrum KFA Juelich, Juelich, DEU)
資料名:
Institute of Physics Conference Series
(Institute of Physics Conference Series)
号:
134
ページ:
15-20
発行年:
1993年
JST資料番号:
E0403B
ISSN:
0305-2346
CODEN:
IPHSAC
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)