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文献
J-GLOBAL ID：200902100307655981
整理番号：97A0625547
有機金属化合物気相エピタクシーによるGaN成長 モデリングと実測との比較
GaN Growth by Metallorganic Vapor Phase Epitaxy. A Comparison of Modeling and Experimental Measurements.
SAFVI S A
(Univ. Wisconsin, Wisconsin, USA)
,
REDWING J M
(Advanced Technol. Materials, Connecticut, USA)
,
TISCHLER M A
(Advanced Technol. Materials, Connecticut, USA)
,
KUECH T F
(Univ. Wisconsin, Wisconsin, USA)
資料名：
Journal of the Electrochemical Society
(Journal of the Electrochemical Society)
巻： 144 号： 5 ページ： 1789-1796 発行年： 1997年05月
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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