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文献
J-GLOBAL ID：200902100401955654
整理番号：99A0615875
化学蒸着(CVD)反応器設計の反応工学
Chemical reaction engineering in the design of CVD reactors.
KOMIYAMA H
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
SHIMOGAKI Y
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
EGASHIRA Y
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
資料名：
Chemical Engineering Science
(Chemical Engineering Science)
巻： 54 号： 13/14 ページ： 1941-1957 発行年： 1999年07月
JST資料番号： B0254A ISSN： 0009-2509 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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