文献
J-GLOBAL ID:200902100598823932
整理番号:93A0392083
レーザCVDアルミニウムの成長速度挙動
Growth rate behaviour of LCVD aluminium.
著者 (3件):
SHANOV V
(Technological Univ. Sofia, Sofia, BGR)
,
IVANOV B
(Technological Univ. Sofia, Sofia, BGR)
,
POPOV C
(Technological Univ. Sofia, Sofia, BGR)
資料名:
Processing of Advanced Materials
(Processing of Advanced Materials)
巻:
3
号:
1
ページ:
41-44
発行年:
1993年03月
JST資料番号:
W0495A
ISSN:
0960-3158
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)