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文献
J-GLOBAL ID：200902100866131437
整理番号：97A0194363
モールド補助ナノリソグラフィー 確かなパターン複製のためのプロセス
Mold-assisted nanolithography: A process for reliable pattern replication.
HAISMA J
(Philips Res. Lab., Eindhoven, NLD)
,
VERHEIJEN M
(Philips Res. Lab., Eindhoven, NLD)
,
VAN DEN HEUVEL K
(Philips Res. Lab., Eindhoven, NLD)
,
VAN DEN BERG J
(Philips Res. Lab., Eindhoven, NLD)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 14 号： 6 ページ： 4124-4128 発行年： 1996年11月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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