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文献
J-GLOBAL ID：200902101315012107
整理番号：98A0881231
ECRスパッタ炭素膜の高耐摩耗性
High wear durability of ECR-sputtered carbon films.
HIRONO S
(NTT Integrated Information & Energy Systems Lab., Tokyo, JPN)
,
UMEMURA S
(NTT Integrated Information & Energy Systems Lab., Tokyo, JPN)
,
ANDOH Y
(NTT Integrated Information & Energy Systems Lab., Tokyo, JPN)
,
HAYASHI T
(NTT Integrated Information & Energy Systems Lab., Tokyo, JPN)
,
KANEKO R
(Wakayama Univ., Wakayama, JPN)
資料名：
IEEE Transactions on Magnetics
(IEEE Transactions on Magnetics)
巻： 34 号： 4, Pt.1 ページ： 1729-1731 発行年： 1998年07月
JST資料番号： A0339B ISSN： 0018-9464 CODEN： IEMGAQ 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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