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文献
J-GLOBAL ID：200902101464135190
整理番号：01A1028394
ミクロパイプ分解による4H-SiCエピ層の電気特性の向上
Improvement in Electrical Properties of 4H-SiC Epilayers by Micropipe Dissociaon.
KAMATA I
(Yokosuka Res. Lab., Kanagawa, JPN)
,
TSUCHIDA H
(Yokosuka Res. Lab., Kanagawa, JPN)
,
JIKIMOTO T
(Yokosuka Res. Lab., Kanagawa, JPN)
,
IZUMI K
(Yokosuka Res. Lab., Kanagawa, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻： 40 号： 10A ページ： L1012-L1014 発行年： 2001年10月01日
JST資料番号： F0599B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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