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文献
J-GLOBAL ID：200902101553127826
整理番号：97A0385137
真空紫外希ガスエキシマ光源
Vacuum ultraviolet rare gas excimer light source.
WIESER J
(Rutgers Univ., New Jersey)
,
MURNICK D E
(Rutgers Univ., New Jersey)
,
ULRICH A
(Technische Univ. Muenchen, Garching, DEU)
,
HUGGINS H A
(Lucent Technol., New Jersey)
,
LIDDLE A
(Lucent Technol., New Jersey)
,
BROWN W L
(Lucent Technol., New Jersey)
資料名：
Review of Scientific Instruments
(Review of Scientific Instruments)
巻： 68 号： 3 ページ： 1360-1364 発行年： 1997年03月
JST資料番号： D0517A ISSN： 0034-6748 CODEN： RSINAK 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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