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文献
J-GLOBAL ID：200902101557893353
整理番号：01A0386880
線形走査およびパターン生成のための大偏向マイクロメカニカル反射鏡
Large deflection micromechanical scanning mirrors for linear scans and pattern generation.
SCHENK H
(Fraunhofer Inst. for Microelectronics Circuits and Systems, Dresden, DEU)
,
DUERR P
(Fraunhofer Inst. for Microelectronics Circuits and Systems, Dresden, DEU)
,
HAASE T
(Fraunhofer Inst. for Microelectronics Circuits and Systems, Dresden, DEU)
,
KUNZE D
(Fraunhofer Inst. for Microelectronics Circuits and Systems, Dresden, DEU)
,
SOBE U
(Fraunhofer Inst. for Microelectronics Circuits and Systems, Dresden, DEU)
,
LAKNER H
(Fraunhofer Inst. for Microelectronics Circuits and Systems, Dresden, DEU)
,
KUECK H
(Univ. Stuttgart, Stuttgart, DEU)
資料名：
IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics
(IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics)
巻： 6 号： 5 ページ： 715-722 発行年： 2000年09月
JST資料番号： W0734A ISSN： 1077-260X CODEN： IJSQEN 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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