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文献
J-GLOBAL ID：200902101633638880
整理番号：01A0793120
金属接触のrf予備洗浄におけるアスペクト比依存プラズマ誘起帯電損傷
Aspect ratio dependent plasma-induced charging damage in rf precleaning of a metal contact.
KIM J
(Samsung Electronics Co. Ltd., Kyungki-Do, KOR)
,
SHIN K S
(Samsung Electronics Co. Ltd., Kyungki-Do, KOR)
,
PARK W J
(Samsung Electronics Co. Ltd., Kyungki-Do, KOR)
,
KIM Y J
(Samsung Electronics Co. Ltd., Kyungki-Do, KOR)
,
KANG C J
(Samsung Electronics Co. Ltd., Kyungki-Do, KOR)
,
AHN T H
(Samsung Electronics Co. Ltd., Kyungki-Do, KOR)
,
MOON J T
(Samsung Electronics Co. Ltd., Kyungki-Do, KOR)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 19 号： 4,Pt.2 ページ： 1835-1839 発行年： 2001年07月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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