文献
J-GLOBAL ID:200902101869462473
整理番号:97A0728320
還元性雰囲気アニールでのPb(Zr,Ti)O3強誘電体薄膜の劣化に対するキャパシタ電極の触媒効果
The effects of the catalytic nature of capacitor electrodes on the degradation of ferroelectric Pb(Zr,Ti)O3 thin films during reductive ambient annealing.
著者 (4件):
FUJISAKI Y
(Hitachi Ltd., Tokyo, JPN)
,
KUSHIDA-ABDELGHAFAR K
(Hitachi Ltd., Tokyo, JPN)
,
SHIMAMOTO Y
(Hitachi Ltd., Tokyo, JPN)
,
MIKI H
(Hitachi Ltd., Tokyo, JPN)
資料名:
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻:
82
号:
1
ページ:
341-344
発行年:
1997年07月01日
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIAU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)