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文献
J-GLOBAL ID：200902101884932214
整理番号：98A0925853
シリコンスライダ使用の表面音響波リニアモータ
Surface Acoustic Wave Linear Motor Using Silicon Slider.
OSAKABE N
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
KUROSAWA M
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
HIGUCHI T
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
SHINOURA O
(TDK Co, Chiba, JPN)
資料名：
Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems
(Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 11th ページ： 390-395 発行年： 1998年
JST資料番号： W0377A ISSN： 1084-6999 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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