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文献
J-GLOBAL ID：200902101912025317
整理番号：96A0909225
低圧プラズマスパッタリング法で堆積した金-炭化水素のコンポジット薄膜の構造
Structure of gold-hydrocarbon composite thin films deposited using low-voltage plasma sputtering method.
OKAMOTO A
(Technol. Res. Inst. Osaka Prefecture, Osaka, JPN)
,
NOSAKA T
(Technol. Res. Inst. Osaka Prefecture, Osaka, JPN)
,
YOSHITAKE M
(Technol. Res. Inst. Osaka Prefecture, Osaka, JPN)
,
SUZUKI Y
(Technol. Res. Inst. Osaka Prefecture, Osaka, JPN)
,
OGAWA S
(Technol. Res. Inst. Osaka Prefecture, Osaka, JPN)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 281/282 号： 1/2 ページ： 390-392 発行年： 1996年08月01日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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