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文献
J-GLOBAL ID：200902101964739571
整理番号：93A0204806
単結晶シリコンの切削加工に関する研究 第1報 脆性-延性遷移に伴う加工表面性状の変化
Study on the Diamond Cutting of Silicon Single Crystal. 1st Report. The Effect of Brittle-Ductile Transition on Surface Integrity.
WU T-C
(千葉大 大学院)
,
森田昇
(千葉大 工)
,
吉田嘉太郎
(千葉大 工)
資料名：
日本機械学会論文集 C編
(Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series C)
巻： 59 号： 557 ページ： 283-288 発行年： 1993年01月
JST資料番号： F0045B ISSN： 0387-5024 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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