文献
J-GLOBAL ID:200902102263621050
整理番号:99A0892673
その場アニールによるSi(001)-2×1上のエピタキシャルSrTiO3膜の電気的性質の改善
Improvement of electrical properties of epitaxial SrTiO3 films on Si(001)-2×1 by in situ annealing.
著者 (4件):
TAMBO T
(Toyama Univ., Toyama, JPN)
,
MAEDA K
(Toyama Univ., Toyama, JPN)
,
SHIMIZU A
(Toyama Univ., Toyama, JPN)
,
TATSUYAMA C
(Toyama Univ., Toyama, JPN)
資料名:
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻:
86
号:
6
ページ:
3213-3217
発行年:
1999年09月15日
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIAU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)