文献
J-GLOBAL ID:200902102295737157
整理番号:94A0104332
選択エッチングとレジスト粒子除去のための加熱SC1溶液
Heated SC1 Solution for Selective Etching and Resist Particulate Removal.
著者 (2件):
HOSSAIN S D
(Texas Instruments, Texas)
,
PAS M F
(Texas Instruments, Texas)
資料名:
Journal of the Electrochemical Society
(Journal of the Electrochemical Society)
巻:
140
号:
12
ページ:
3604-3606
発行年:
1993年12月
JST資料番号:
C0285A
ISSN:
1945-7111
CODEN:
JESOAN
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)