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J-GLOBAL ID：200902102476831198 整理番号：99A0463590

MBE Si(111)のラディカルビーム酸化過程のin-situエリプソメトリ観察

著者 (6件)：

溝端耕造

(大阪大)

吉岡善文

(島津製作所)

田路俊也

(大阪大)

生田哲也

(大阪大)

志村考功

(大阪大)

梅野正隆

(大阪大)

資料名：

応用物理学関係連合講演会講演予稿集 (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)

巻： 46th 号： 2 ページ： 859 発行年： 1999年03月28日
JST資料番号： Y0054A 資料種別：会議録 (C)
発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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