文献
J-GLOBAL ID:200902102605979199
整理番号:00A0724749
Czochralski法でDashネッキングがないBドープ無転位Si結晶の成長 B濃度の影響
Dislocation-free B-doped Si crystal growth without Dash necking in Czochralski method: Influence of B concentration.
著者 (4件):
HUANG X
(Shinshu Univ., Nagano, JPN)
,
TAISHI T
(Shinshu Univ., Nagano, JPN)
,
YONENAGA I
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
HOSHIKAWA K
(Shinshu Univ., Nagano, JPN)
資料名:
Journal of Crystal Growth
(Journal of Crystal Growth)
巻:
213
号:
3/4
ページ:
283-287
発行年:
2000年06月
JST資料番号:
B0942A
ISSN:
0022-0248
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)