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文献
J-GLOBAL ID：200902102685621478
整理番号：93A0242250
高周波誘導プラズマ中の電磁場
Electromagnetic fields in a radio-frequency induction plasma.
HOPWOOD J
(IBM Research Division, New York)
,
GUARNIERI C R
(IBM Research Division, New York)
,
WHITEHAIR S J
(IBM Research Division, New York)
,
CUOMO J J
(IBM Research Division, New York)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 11 号： 1 ページ： 147-151 発行年： 1993年01月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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