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文献
J-GLOBAL ID：200902102850114276
整理番号：96A0780095
原子層成長の表面化学
Surface Chemistry for Atomic Layer Growth.
GEORGE S M
(Univ. Colorado, Colorado)
,
OTT A W
(Univ. Colorado, Colorado)
,
KLAUS J W
(Univ. Colorado, Colorado)
資料名：
Journal of Physical Chemistry
(Journal of Physical Chemistry)
巻： 100 号： 31 ページ： 13121-13131 発行年： 1996年08月01日
JST資料番号： C0334A ISSN： 0022-3654 CODEN： JPCHAX 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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