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文献
J-GLOBAL ID：200902102883656414
整理番号：02A0505521
高周波マグネトロンスパッタ蒸着したGa2O3:Mn蛍光体薄膜の微細構造評価
Microstructural characterization of radio frequency magnetron sputter-deposited Ga2O3:Mn phosphor thin films.
KIM J H
(Univ. Florida, Florida)
,
HOLLOWAY P H
(Univ. Florida, Florida)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 20 号： 3 ページ： 928-933 発行年： 2002年05月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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