文献
J-GLOBAL ID:200902102919482957
整理番号:96A0958201
Measurement of a CD and Sidewall Angle Artifact with Two Dimensional CD AFM Metrology.
著者 (7件):
DIXSON R
(National Inst. Standards and Technol., MD)
,
SULLIVAN N
(Digital Semiconductor, MA)
,
SCHNEIR J
(National Inst. Standards and Technol., MD)
,
MCWAID T
(National Inst. Standards and Technol., MD)
,
TSAI V W
(Univ. Maryland, MD)
,
PROCHAZKA J
(VLSI Standards, Inc., CA)
,
YOUNG M
(Veeco-Sloan, CA)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
2725
ページ:
572-588
発行年:
1996年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)