文献
J-GLOBAL ID:200902103157701253
整理番号:93A0420372
SiNx層のAES及びXPSによるキャラクタリゼーション
AES and XPS Characterization of SiNx Layers.
著者 (5件):
PAVLYAK F
(Technical Univ. Budapest, Budapest, HUN)
,
BERTOTI I
(Research Lab. Inorganic Chemistry, Hungarian Academy of Sciences, HUN)
,
MOHAI M
(Research Lab. Inorganic Chemistry, Hungarian Academy of Sciences, HUN)
,
BICZO I
(Technical Univ. Budapest, Budapest, HUN)
,
GIBER J
(Technical Univ. Budapest, Budapest, HUN)
資料名:
Surface and Interface Analysis
(Surface and Interface Analysis)
巻:
20
号:
3
ページ:
221-227
発行年:
1993年03月
JST資料番号:
E0709A
ISSN:
0142-2421
CODEN:
SIANDQ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)