文献
J-GLOBAL ID:200902103185111283
整理番号:01A0157112
ナノインプリンティング用の熱硬化性高分子へのマスタ複製
Master replication into thermosetting polymers for nanoimprinting.
著者 (7件):
SCHULZ H
(Univ. Wuppertal, Wuppertal, DEU)
,
LYEBYEDYEV D
(Univ. Wuppertal, Wuppertal, DEU)
,
SCHEER H-C
(Univ. Wuppertal, Wuppertal, DEU)
,
PFEIFFER K
(Micro Resist Technol. GmbH, Berlin, DEU)
,
BLEIDIESSEL G
(Micro Resist Technol. GmbH, Berlin, DEU)
,
GRUETZNER G
(Micro Resist Technol. GmbH, Berlin, DEU)
,
AHOPELTO J
(VTT Electronics, Espoo, FIN)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻:
18
号:
6
ページ:
3582-3585
発行年:
2000年11月
JST資料番号:
E0974A
ISSN:
1071-1023
CODEN:
JVTBD9
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)