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文献
J-GLOBAL ID：200902103203992403
整理番号：93A0535389
タングステンフィラメント熱支援rfプラズマCVDを用いたほう素含浸Fe上のc-BN膜の形成
Formation of c-BN Film on Fe with Seeped Boron Using RF Plasma CVD Thermally Assisted by a Tungsten Filament.
WANG W
(Lanzhou Univ.)
,
JI R
(Lanzhou Univ.)
,
GAO J
(Lanzhou Univ.)
,
LIAO K
(Lanzhou Univ.)
,
ZHANG X
(Lanzhou Univ.)
資料名：
Physica Status Solidi. A. Applied Research
(Physica Status Solidi. A. Applied Research)
巻： 136 号： 2 ページ： K89-K91 発行年： 1993年04月16日
JST資料番号： D0774A ISSN： 0031-8965 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
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