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文献
J-GLOBAL ID：200902103287396118
整理番号：96A0420468
Si表面の微視的構造の表面処理効果とSiO2/Si界面準位
Surface Treatment Effects of Microscopic Structure of Si Surface and SiO2/Si Interface States.
奥村勝英
(大阪大 基礎工)
,
山本英明
(大阪大 基礎工)
,
大矢晃之
(大阪大 基礎工)
,
金島岳
(大阪大 基礎工)
,
奥山雅則
(大阪大 基礎工)
,
浜川圭弘
(大阪大 基礎工)
資料名：
応用物理学関係連合講演会講演予稿集
(Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 43rd 号： 2 ページ： 681 発行年： 1996年03月
JST資料番号： Y0054A 資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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