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文献
J-GLOBAL ID：200902103344737598
整理番号：94A0124194
High-Resolution Pattern Formation Featuring Excellent Dimension Correlation by Enhanced-Wettability Development Technology.
SHIMOMURA S
(Tohoku Univ., Miyagi, JPN)
,
SHIMADA H
(Tohoku Univ., Miyagi, JPN)
,
AU R
(Tohoku Univ., Miyagi, JPN)
,
MIYAWAKI M
(Canon Inc., Kanagawa, JPN)
,
OHMI T
(Tohoku Univ., Miyagi, JPN)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 1925 ページ： 602-613 発行年： 1993年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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