文献
J-GLOBAL ID:200902103417789567
整理番号:93A0466257
Direct photo-deposition of silicon dioxide films using a xenon excimer lamp.
著者 (3件):
BERGONZO P
(Univ. Coll. London, London, GBR)
,
KOGELSCHATZ U
(Asea Brown Boveri, Baden, CHE)
,
BOYD I W
(Univ. Coll. London, London, GBR)
資料名:
Applied Surface Science
(Applied Surface Science)
巻:
69
号:
1/4
ページ:
393-397
発行年:
1993年05月
JST資料番号:
B0707B
ISSN:
0169-4332
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)