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文献
J-GLOBAL ID:200902103441782204   整理番号:02A0889917

原子間力顕微鏡で測定したSiO2超薄膜の破壊誘起負電荷

Breakdown-induced negative charge in ultrathin SiO2 films measured by atomic force microscopy.
著者 (5件):
PORTI M
(Univ. Autonoma de Barcelona, Barcelona, ESP)
NAFRIA M
(Univ. Autonoma de Barcelona, Barcelona, ESP)
BLUEM M C
(Univ. Autonoma de Barcelona, Barcelona, ESP)
AYMERICH X
(Univ. Autonoma de Barcelona, Barcelona, ESP)
SADEWASSER S
(Hahn-Meitner-Inst., Berlin, DEU)

資料名:
Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)

巻: 81  号: 19  ページ: 3615-3617  発行年: 2002年11月04日 
JST資料番号: H0613A  ISSN: 0003-6951  CODEN: APPLAB  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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