文献
J-GLOBAL ID:200902103441782204
整理番号:02A0889917
原子間力顕微鏡で測定したSiO2超薄膜の破壊誘起負電荷
Breakdown-induced negative charge in ultrathin SiO2 films measured by atomic force microscopy.
著者 (5件):
PORTI M
(Univ. Autonoma de Barcelona, Barcelona, ESP)
,
NAFRIA M
(Univ. Autonoma de Barcelona, Barcelona, ESP)
,
BLUEM M C
(Univ. Autonoma de Barcelona, Barcelona, ESP)
,
AYMERICH X
(Univ. Autonoma de Barcelona, Barcelona, ESP)
,
SADEWASSER S
(Hahn-Meitner-Inst., Berlin, DEU)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
81
号:
19
ページ:
3615-3617
発行年:
2002年11月04日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)