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文献
J-GLOBAL ID：200902103548391763
整理番号：94A0377179
Evolution of a microlens surface under etching conditions.
GRATRIX E J
(Hughes Danbury Optical Systems, Inc., CT)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 1992 ページ： 266-274 発行年： 1993年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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