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文献
J-GLOBAL ID：200902104140409032
整理番号：93A0308303
He-H2のグロー放電プラズマ中の炭素の化学スパッタリング率の発光分光法による評価
Estimation of Chemical Sputtering Rates of Carbon in He-H2 Glow Discharge Plasmas by Optical Emission Spectroscopy.
TSUJI K
(Tohoku Univ., Sendai)
,
HIROKAWA K
(Tohoku Univ., Sendai)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 32 号： 2 ページ： 916-920 発行年： 1993年02月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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