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文献
J-GLOBAL ID：200902104161671314
整理番号：95A1023005
長距離測定領域を伴う実時間サブナノメートル位置検出
Real-time subnanometer position sensing with long measurement range.
OHARA T
(Massachusetts Inst. Technol., Massachusetts, USA)
,
YOUCEF-TOUMI K
(Massachusetts Inst. Technol., Massachusetts, USA)
資料名：
Proceedings. IEEE International Conference on Robotics and Automation
(Proceedings. IEEE International Conference on Robotics and Automation)
巻： 1995 号： Vol 1 ページ： 369-374 発行年： 1995年
JST資料番号： T0044A ISSN： 1050-4729 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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