文献
J-GLOBAL ID:200902104249899226
整理番号:99A0591720
パルスマグネトロンスパッタリングによって蒸着した酸化アルミニウム皮膜の構造と特性の制御
Control of the structure and properties of aluminum oxide coatings deposited by pulsed magnetron sputtering.
著者 (2件):
KELLY P J
(Univ. Salford, Salford, GBR)
,
ARNELL R D
(Univ. Salford, Salford, GBR)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
17
号:
3
ページ:
945-953
発行年:
1999年05月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)