文献
J-GLOBAL ID:200902104377494611
整理番号:97A0944439
TCADを構成するプロセスシミュレータの開発期間短縮手法の提案 標準ライブラリの開発とそれを用いた汎用プロセスシミュレータ
A Minimization Scheme for a period of Process Simulator Development in TCAD. Development of Simulation Standard Libraries and an Application.
著者 (6件):
中村光利
(東芝 マイクロエレクトロニクス技研)
,
中内孝浩
(東芝 半導体設計・評価技セ)
,
福田寿一
(東芝 半導体設計・評価技セ)
,
楠直樹
(東芝 マイクロエレクトロニクス技研)
,
金村貴永
(東芝 マイクロエレクトロニクス技研)
,
福田早苗
(東芝 マイクロエレクトロニクス技研)
資料名:
電子情報通信学会技術研究報告
(IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻:
97
号:
272(SDM97 104-117)
ページ:
79-86
発行年:
1997年09月25日
JST資料番号:
S0532B
ISSN:
0913-5685
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)