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文献
J-GLOBAL ID：200902104419047521
整理番号：94A0369030
修飾バイアススパッタリングによる多結晶金属テープ上への面内組織化Y2O3ドープZrO2薄膜の作製
Preparation of in-plane textured Y2O3-doped ZrO2 thin film on polycrystalline metallic tape by modified bias sputtering.
AOKI S
(National Research Inst. Metals, Ibaraki, JPN)
,
FUKUTOMI M
(National Research Inst. Metals, Ibaraki, JPN)
,
KOMORI K
(National Research Inst. Metals, Ibaraki, JPN)
,
MAEDA H
(National Research Inst. Metals, Ibaraki, JPN)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 12 号： 2 ページ： 501-505 発行年： 1994年03月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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