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文献
J-GLOBAL ID：200902104442658279
整理番号：94A0082985
マイクロ波素子応用のためのレーザ支援熱的強化InPバイアエッチング
Laser-Assisted Thermally Enhanced InP Via Etching for Microwave Device Applications.
GHANDOUR O A
(Columbia Univ., NY)
,
SCARMOZZINO R
(Columbia Univ., NY)
,
OSGOOD R M
(Columbia Univ., NY)
,
HOOPER W W
(Hughes Research Lab., CA)
資料名：
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
(IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing)
巻： 6 号： 4 ページ： 357-360 発行年： 1993年11月
JST資料番号： T0521A ISSN： 0894-6507 CODEN： ITSMED 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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