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文献
J-GLOBAL ID：200902104446576110
整理番号：99A0601056
ヘキサメチルジシラザンのプラズマ支援化学蒸着による誘電体薄膜の調製
Preparation of Thin Dielectric Films by Plasma-Assisted Chemical Vapor Deposition of Hexamethyldisilazane.
IRIYAMA Y
(Yamanashi Univ., Kofu, JPN)
,
NAGASE K
(Kinki Univ., Higashi-Hiroshima, JPN)
,
HASEGAWA Y
(Kinki Univ., Higashi-Hiroshima, JPN)
,
IHARA T
(Kinki Univ., Higashi-Hiroshima, JPN)
資料名：
Journal of Photopolymer Science and Technology
(Journal of Photopolymer Science and Technology)
巻： 12 号： 1 ページ： 39-44 発行年： 1999年
JST資料番号： L0202A ISSN： 0914-9244 CODEN： JSTEEW 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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