文献
J-GLOBAL ID:200902104513822580
整理番号:02A0178117
レーザ化学蒸着:材料,モデリング,とプロセス制御
Laser chemical vapour deposition: materials, modelling, and process control.
著者 (3件):
DUTY C
(Georgia Inst. Technol., GA, USA)
,
JEAN D
(Georgia Inst. Technol., GA, USA)
,
LACKEY W J
(Georgia Inst. Technol., GA, USA)
資料名:
International Materials Reviews
(International Materials Reviews)
巻:
46
号:
6
ページ:
271-287
発行年:
2001年
JST資料番号:
D0258B
ISSN:
0950-6608
CODEN:
INMREO
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
文献レビュー
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)