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文献
J-GLOBAL ID：200902104515945727
整理番号：02A0962123
オフアクシオスターゲットスパッタリングにより堆積したTiO2膜の構造及び光学特性に及ぼすプラズマ曝露の効果
Effects of plasma exposure on structural and optical properties of TiO2 films deposited by off-axis target sputtering.
TAKAHASHI T
(Toyama Univ., Toyama, JPN)
,
NAKABAYASHI H
(Toyama Univ., Toyama, JPN)
,
MIZUNO W
(Toyama Industrial Technol. Center, Takaoka, JPN)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 20 号： 6 ページ： 1916-1920 発行年： 2002年11月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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