文献
J-GLOBAL ID:200902104646711195
整理番号:01A0775735
3D測定用シリコンベース・ナノプローブシステムの開発
Development of a Silicon-Based Nanoprobe System for 3-D Measurements.
著者 (3件):
HAITJEMA H
(Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD)
,
PRIL W O
(ASM Lithography, Veldhoven, NLD)
,
SCHELLEKENS P H J
(Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD)
資料名:
CIRP Annals (International Inst. for Production Engineering Research)
(CIRP Annals (International Inst. for Production Engineering Research))
巻:
50
号:
1
ページ:
365-368
発行年:
2001年
JST資料番号:
E0026A
ISSN:
0007-8506
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)