文献
J-GLOBAL ID:200902104886277255
整理番号:96A0178827
UHP(超高清浄度)供給系の乾燥化へのベーキングの効果:数値シミュレーションにより実験室規模から産業規模に
The Effect of Baking on the Dry Down of UHP Distribution Systems: From Laboratory to Industrial Scale via Numerical Simulation.
著者 (3件):
JURCIK B
(Air Liquide, IL)
,
MCANDREW J
(Air Liquide, IL)
,
ZNAMENSKY D
(Air Liquide, IL)
資料名:
Proceedings. Annual Technical Meeting and Exposition. Institute of Environmental Science and Technology
(Proceedings. Annual Technical Meeting and Exposition. Institute of Environmental Science and Technology)
巻:
41st
号:
Symposium on On-Line Monitoring ...
ページ:
557-563
発行年:
1995年
JST資料番号:
D0673A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)