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文献
J-GLOBAL ID：200902104925295754
整理番号：02A0698137
単ループアンテナの容量結合プラズマ生成
A Study of Capacitively Coupled Plasma Generation in Single-Loop Antennas.
SHINDO H
(Tokai Univ., Hiratsuka, JPN)
,
KUDO D
(Tokai Univ., Hiratsuka, JPN)
,
FUJII S
(ADTEC Plasma Technol. Co., Ltd., Fukuyama, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻： 41 号： 8B ページ： L956-L959 発行年： 2002年08月15日
JST資料番号： F0599B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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