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文献
J-GLOBAL ID：200902105128967522
整理番号：98A0652819
スパッタによるTi-Al傾斜組成膜の作製
Preparation of Ti-Al gradient composite films by sputtering.
TAKEDA F
(Toyama National Coll. Technol., Toyama, JPN)
,
NAKAJIMA T
(Toyama National Coll. Technol., Toyama, JPN)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 316 号： 1/2 ページ： 68-72 発行年： 1998年03月21日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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