文献
J-GLOBAL ID:200902105198583420
整理番号:95A0100825
走査白色光干渉法に基づく高速非接触プロファイラ
High-speed noncontact profiler based on scanning white-light interferometry.
著者 (2件):
DECK L
(Zygo Corp., Connecticut)
,
DE GROOT P
(Zygo Corp., Connecticut)
資料名:
Applied Optics
(Applied Optics)
巻:
33
号:
31
ページ:
7334-7338
発行年:
1994年11月01日
JST資料番号:
B0026B
ISSN:
1559-128X
CODEN:
APOPAI
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)