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文献
J-GLOBAL ID：200902105462933426
整理番号：97A0632261
マレイン酸無水物を含む脂環式主鎖から成るArF単層レジスト
ArF Single Layer Resist Composed of Alicyclic Main Chain Containing Maleic Anhydride.
JUNG J-C
(Hyundai Electronics Ind., Co., Ltd., Kyoungki-do, KOR)
,
BOK C-K
(Hyundai Electronics Ind., Co., Ltd., Kyoungki-do, KOR)
,
BAIK K-H
(Hyundai Electronics Ind., Co., Ltd., Kyoungki-do, KOR)
資料名：
Journal of Photopolymer Science and Technology
(Journal of Photopolymer Science and Technology)
巻： 10 号： 4 ページ： 529-533 発行年： 1997年
JST資料番号： L0202A ISSN： 0914-9244 CODEN： JSTEEW 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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