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文献
J-GLOBAL ID:200902105462933426   整理番号:97A0632261

マレイン酸無水物を含む脂環式主鎖から成るArF単層レジスト

ArF Single Layer Resist Composed of Alicyclic Main Chain Containing Maleic Anhydride.
著者 (3件):
JUNG J-C
(Hyundai Electronics Ind., Co., Ltd., Kyoungki-do, KOR)
BOK C-K
(Hyundai Electronics Ind., Co., Ltd., Kyoungki-do, KOR)
BAIK K-H
(Hyundai Electronics Ind., Co., Ltd., Kyoungki-do, KOR)

資料名:
Journal of Photopolymer Science and Technology  (Journal of Photopolymer Science and Technology)

巻: 10  号:ページ: 529-533  発行年: 1997年 
JST資料番号: L0202A  ISSN: 0914-9244  CODEN: JSTEEW  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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