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文献
J-GLOBAL ID：200902105614972902
整理番号：02A0058883
6H-SiCの犠牲陽極酸化
Sacrificial Anodic Oxidation of 6H-SiC.
KATO M
(Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN)
,
ICHIMURA M
(Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN)
,
ARAI E
(Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻： 40 号： 11A ページ： L1145-L1147 発行年： 2001年11月01日
JST資料番号： F0599B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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